摘要：硬薄膜軟基底結構在壓應力作用下通常會發生一種褶皺形式的屈曲失穩,這種結構在微納機電系統、柔性電子器件等領域有非常廣泛的應用。壓電材料因其獨特的力電耦合特性具有普通材料不可替代的作用,受到軟基底-硬薄膜-軟基底3層結構能進一步提高其彎曲性能的啟發,從理論上分析了關于壓電薄膜3層結構在壓應力作用下的屈曲問題,結合線性擾動分析和能量法獲得了3層結構壓電薄膜屈曲的臨界應變、波數、波長和幅值的解析表達式,并且與彈性薄膜3層結構進行了對比分析,發現壓電薄膜比彈性薄膜有更強的抵抗屈曲變形能力。