摘要：快速動態真空校準裝置由校準系統、高速數據采集與控制系統、抽氣系統、烘烤系統、供氣系統5個部分組成。采用快開超高真空插板閥與不同幾何尺寸限流元件的組合實現標準壓力建立時間在18.12~658.13 ms范圍的調整,采用容積比為1 573.9的下游室與上游室實現動態真空1 000倍以上的階躍。通過ms量級稀薄氣體快速膨脹過程數值仿真獲得了快開閥與限流元件不同流態下隨時間的流導函數,并采用動態響應特性經過優化的電容薄膜真空計(響應時間1.07 ms)實驗驗證,快速動態真空校準裝置校準范圍10^-1~10^5Pa,合成標準不確定度為14%。