摘要：為提高嵌入式時柵角位移傳感器測量精度,從傳感信號形成機理出發,對短周期誤差成因進行了詳細分析。通過對繞組等效分析和激勵信號分析,確定了短周期誤差的主要特性為一次和二次誤差,一次誤差來源為零點殘余誤差和直流分量誤差,二次誤差來源為激勵信號正交誤差。針對短周期誤差補償,提出了基于超限學習機的誤差補償方法,通過對測量值與真實值樣本的訓練得到模型最優參數,根據模型參數建立短周期誤差模型,利用所得誤差模型實現對短周期誤差的補償。實驗結果表明,短周期誤差分析結果與傳感器實際誤差特性一致,采用該補償方法傳感器短周期誤差大幅度降低,降低了約96%。對比和重復性實驗表明,該方法與諧波補償法相比精度提高了約1倍,誤差補償效果更優,同時方法具有良好的測量穩定性,對提高嵌入式時柵角位移傳感器的測量精度具有重要的理論和現實意義。