摘要：為解決氣相沉積法制備材料過程中腐蝕性液體液位測量問題,基于液柱透鏡成像原理,設計了高精度耐腐蝕的光電透射式液位測量儀。論文給出了液位測量儀的基本工作原理及結構設計、重點分析了液位特征提取算法的設計和實現過程。設計的液位測量儀能夠滿足透明、半透明、不透明液體的液位測量。實驗結果表明,液位特征提取算法能準確識別液滴、液滴串、氣泡段等異常影響。液位測量儀能在溶液結晶等較復雜工況下正常工作,并且其測量分辨率達 3.5 μm,靜態測量誤差小于0.02 mm,單個測量頭量程為 52.5 mm,有較好穩定性,非接觸式測量,耐腐蝕,可小型化,能夠滿足較高精度液位測量需求。