[ 登錄/注冊 ] 購物車(0)
期刊大全 雜志訂閱 SCI期刊 期刊投稿 出版社 公文范文 精品范文
摘要：本文介紹了超臨界流體及其特性、超臨界流體清洗工藝及特點.結合現有的研究結果,論述了在微電子加工中應用超臨界流體的可行性和有效性.并以硅片的清洗和干燥為例,說明了超臨界CO2的應用優勢,指出了超臨界流體在微電子技術中尚需要解決的技術問題及其廣闊的應用前景.
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
部級期刊 下單
國際刊號：1672-2248
國內刊號：11-5015/TN
多年專注期刊服務，熟悉發表政策，投稿全程指導。因為專注所以專業。
推薦期刊保障正刊，評職認可，企業資質合規可查。
誠信服務，簽訂協議，嚴格保密用戶信息，提供正規票據。
如果發表不成功可退款或轉刊。資金受第三方支付寶監管，安全放心。
