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摘要:文章提出了一種基于DVD原理的非接觸光學聚焦探頭,它由商用DVD讀取頭改裝而成,已經完成設計與制作。實驗結果表明,此非接觸探頭分辨率優于lnm,測量重復性可達12nm。目前此非接觸觸發探頭已應用于納米三坐標測量機上。
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國內刊號:11-3670/TN
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