摘要：機械零件表面形成微凸起及微坑結構在摩擦學、仿生制造等領域具有重要意義。微細電火花加工是一種重要的精密微細加工技術,已經成為微三維實體制造的有效手段之一。通過選用合適的切割軌跡和電參數,能以電火花線切割微精加工多種形狀的微凸起電極,繼而以電火花成形加工出微坑結構;或者直接用電火花線切割加工微凸起結構。分析了加工電參數對電極制備精度的影響及加工前后電極形狀尺寸的變化,研究了所獲微坑的幾何參數及表面形貌特性,并對微凸起、微坑以及平面結構的摩擦磨損性能進行了初步分析比較。