摘要：傳統Ag/AgCl濕電極存在柔韌性差、穩定性不高等缺點,已不能滿足應用于智能可穿戴設備采集表面肌電信號(sEMG)的需求。提出一種通過微電子機械系統(MEMS)技術制備柔性干電極的方法,并針對柔性干電極的特點設計一套便攜式16通道sEMG無線采集系統。通過光刻、刻蝕、聚二甲基硅氧烷(PDMS)形貌轉移等工藝制成面積1 cm~2、厚度1 mm、底部直徑80μm、高度143μm、中心距160~240μm的柔性微針陣列干電極。無線采集系統將采集到的sEMG進行放大、濾波、A/D轉換和無線傳輸后,由LabVIEW編寫的上位機進行波形顯示和數據存儲。整個采集裝置尺寸為6 cm×2.5 cm×1.5 cm,電池容量為200 mA·h,充電5 min可在室外50 m范圍內工作4 h左右。該無線采集裝置配合柔性干電極提取sEMG具有采集通道多、穩定性好、傳輸距離遠、實時顯示波形、生物兼容性好等優點。