摘要：為提高二極管雪崩擊穿電流耐量,從斜角終端入手進行分析研究,利用Silvaco TCAD仿真軟件對正、負斜角終端P+PNN+結構二極管雪崩擊穿電流的分布進行了仿真分析。仿真結果表明,當發生雪崩擊穿時,正斜角結構二極管的雪崩擊穿電流集中在體內,負斜角結構二極管的則主要發生在邊緣處,從而證明正斜角終端更有利于提高二極管的雪崩電流耐量。實驗結果中正斜角結構的雪崩電流值明顯大于負斜角結構的數值,測試結果與仿真分析的預測一致,說明將負斜角改為正斜角是提高二極管雪崩電流耐量的有效技術措施。