摘要：以高溫鎳基合金Inconel718為加工材料,利用液氮蒸發氣與空氣混合形成低溫冷卻氣體對電火花工具電極進行冷卻,以降低電火花工具損耗。以冷卻溫度為變量進行電火花加工研究。利用粗糙度測量儀TR200和掃描電鏡Quanta250對工件表面粗糙度和表面形貌進行分析。結果表明:當脈沖作用時間較短時(脈沖寬度90μs),在相同電參數下,低溫冷卻電火花加工可降低加工工件的表面粗糙度,在0℃時的表面粗糙度最低,比普通電火花加工的低3.7%~9.5%;隨著冷卻溫度的降低,表面粗糙度會有所增加。電極損耗隨著冷卻溫度的降低而降低,冷卻溫度在-60℃時的電極損耗比0℃的降低了40%以上。當電參數較小時,低溫冷卻電火花加工后的工件表面形成微裂紋且裂紋密度隨冷卻溫度的降低而增加。在一定參數下,低溫冷卻工具電極對降低工件表面粗糙度和工具電極損耗效果顯著,某些情況下可能會增加表面的微裂紋。