摘要:針對激光晶體生長后期晶體生長爐溫度上漂導致晶體不能維持等徑生長的問題,采用一種基于自適應學習率優化算法改進BP神經網絡與經典PID控制技術相結合的方法應用到晶體生長控制過程中,通過改進的BP神經網絡的自學習以及調整加權系數,實現一種由BP神經網絡整定的最佳PID控制。通過MATLAB/Simulink仿真對比表明,改進的BP神經網絡PID控制算法較傳統PID控制方法具有較好的控制性能和魯棒性,能夠有效克服晶體生長爐的溫漂問題,更好地保持晶體等徑生長,提高了控制精度。
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