摘要：為了改善氟化鈣晶體加工后的表面質量、提高加工時的材料去除率,提出了振動輔助固結磨料拋光氟化鈣晶體的加工方法。利用振動與固結磨料拋光有效結合,采用正交實驗研究加工工藝參數對材料去除率和表面質量的影響。結果表明:振動輔助固結磨料拋光氟化鈣晶體的最優工藝參數為轉速40r/min,振動頻率40kHz,拋光液pH值9,轉速比0.95;在最優參數下拋光氟化鈣晶體的材料去除率為324nm/min,表面粗糙度Sa值為1.92nm;與無振動輔助的固結磨料拋光相比,材料去除率提高了57%,表面粗糙度降低了35%。研究表明:振動輔助能夠利用空化作用及規律化間歇性接觸,在固結磨料拋光中提高材料去除率及表面質量。