摘要:非球面的精密檢測中,需要使用到高質量的相位補償器件,補償元件的質量對檢測結果的精度有直接影響。本文針對一拋物面透鏡,設計了一個計算全息板。重點分析了計算全息板在制造過程中存在的各種誤差的影響,分別從整體條紋移動、單個條紋定位偏差、占空比改變三個方面分析了在誤差影響下,對誤差引起的光場畸變進行了計算。結果表明,計算全息板的邊緣處的加工誤差帶來的影響大于中心部分,要讓通過計算全息板后光場分布的誤差均方根值控制在10^-4這個量級,條紋加工誤差不超過1 μm。
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