摘要:針對線結構光傳感器各項靜態性能參數對其測量精度影響的問題,設計了一套線結構光傳感器靜態性能測試方案。在高精度移動平臺上使用二級量塊、納米定位臺和激光干涉儀,對傳感器的重要靜態性能參數,如穩定性、重復性和線性度進行了分析,量化了各項靜態性能參數對傳感器測量精度的影響;以二級量塊的工作面作為傳感器測試試驗的測量表面,結合高精度移動平臺實現了傳感器全測量區域的測試;使用激光干涉儀對移動平臺的定位誤差進行了補償,提高了測量結果的可信度。研究結果表明:傳感器需1 h的時間進行穩定來保證測量精度,其測量區域的中部重復性最佳,該區域重復性均值為0.418μm;傳感器線性度對其測量精度影響最大,由傳感器非線性引起的誤差最大為11.2μm。
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