摘要:研究了不同鈀銀合金原子比例復合膜對微結構光纖光柵氫氣傳感特性的影響.使用飛秒激光在布拉格光柵光纖包層加工螺旋微結構,將磁控濺射方法制備的不同鈀銀原子比例的合金膜鍍在螺旋微結構表面,研制優化鈀銀合金比例的新型微結構布拉格光柵光纖氫氣傳感器.采用掃描電子顯微鏡和能譜儀對Pd-Ag薄膜進行表征和分析,對三種不同鈀銀原子含量(Pd∶Ag=2∶1,4∶1,6∶1)的微結構布拉格光柵光纖探頭進行氫氣傳感測試.在室溫條件下,鈀銀原子比例為4∶1的微結構探頭具有最佳的氫氣傳感性能,鈀銀原子比例為2∶1的微結構探頭響應速度最快,但是靈敏度最低.在4%氫氣濃度下,螺旋微結構傳感器的漂移量達到107pm,對比同類型布拉格光柵光纖氫氣傳感器,具有更高的靈敏度和更快響應速度.
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