摘要：制備了一種中心波長為852nm的內腔液晶可調諧垂直腔面發射激光器結構。研究了不加調諧電壓時可調諧VCSEL的電流-電壓-光功率關系,注入電流為10mA時,得到了器件的最大輸出功率為2.3mW。結果表明,內腔液晶可調諧垂直腔面發射激光器的波長調諧范圍達到27nm,調諧效率為9nm/V。