摘要：太赫茲(Terahertz,THz)波位于光子學向電子學的過渡區域,在高速寬帶通信、雷達、成像等領域具有重要應用前景。但目前用于THz波動態調控的器件仍比較缺乏,這在一定程度上限制了THz技術的發展。VO2具有獨特的金屬—絕緣體相變特性,相變過程可以應用于動態調控THz波傳輸。探索超材料與VO2結合以制備高效、動態、靈活的太赫茲功能器件也是近來的研究熱點。簡述了VO2的相變特性,并分析了微觀結構和化學成分等因素對相變特性的影響;系統回顧了VO2薄膜相變過程中的THz波調控性能研究進展,總結了VO2與超材料不同結合方式在THz波動態調控方面的應用;并對基于VO2相變特性的THz波調控功能器件發展前景與挑戰進行了展望。