摘要：為提高本征石墨烯的氣敏特性,將錫和氧化錫薄膜蒸鍍在氣相沉積法制備的石墨烯表面,制成石墨烯基SnOx-Sn氣體傳感器,通過原子力顯微鏡(AFM)、場發射掃描電鏡(FESEM)對其表面結構進行表征。并測試了其在室溫下對低體積分數甲醛和二氧化氮(NO2)氣體的響應特性。研究并分析了膜蒸發速率、基底加熱時間、氧氣流量對傳感器響應靈敏度的影響。